Es sind sowohl Kosten der Beteiligten als auch Kosten der Behörde zu beachten. Die Kosten, die dem Beteiligten im Verwaltungsverfahren erwachsen, hat er selbst zu bestreiten. Unter Umständen hat der Beteiligte einen Kostenersatzanspruch gegen einen anderen Beteiligten. Dabei ist sodann der Kostenersatzanspruch so rechtzeitig zu stellen, dass der Ausspruch über die Kosten in den Bescheid aufgenommen werden kann. Außerdem bestimmt die Behörde die Höhe der zu ersetzenden Kosten und kann von der Behörde auch in einem Pauschalbetrag festgesetzt werden. Sofern nicht anderes festgelegt ist, sind die Kosten für die Tätigkeit der Behörde im Verwaltungsverfahren von Amts wegen zu tragen.
Entstehen jedoch der Behörde bei einer Amtshandlung Barauslagen, so hat dafür die Partei aufzukommen, die den verfahrenseinleitenden Antrag gestellt hat, wenn diese Auslagen nicht von Amts wegen zu tragen sind. Barauslagen sind auch Gebühren, die den Sachverständigen und Dolmetscher zustehen; aber Kosten, die der Behörde aus ihrer Verpflichtung erwachsen sowie Gebühren, die einem Gehörlosendolmetscher zustehen, gelten nicht als Barauslagen.
Für Gebühren, die den nichtamtlichen Sachverständigen zustehen, hat die Partei nur dann aufzukommen, wenn sie den von ihr bestimmten Betrag nicht überschreiten. Wenn aber die Amtshandlung durch das Verschulden eines anderen Beteiligten verursacht wurde, sind die Auslagen von diesem zu tragen. Sollte jedoch die Amtshandlung von Amts wegen angeordnet worden sein, führen diese Auslagen nur dann zur Belastung des Beteiligten, wenn sie durch sein Verschulden herbeigeführt wurden. Falls jedoch eine Amtshandlung nur mit größeren Barauslagen durchführbar ist, kann von der Partei, die den verfahrenseinleitenden Antrag gestellt hat, einen Vorschuss verlangt werden. Die Gebühren, die den Sachverständigen und Dolmetschern zustehen sind von jenem Rechtsträger zu tragen, in dessen Namen die Behörde in der Angelegenheit gehandelt hat, falls dafür nicht die Verfahrensbeteiligten aufzukommen haben.
Zeugengebühren sind von jenem Rechtsträger zu tragen, in dessen Namen der unabhängige Verwaltungssenat in der Angelegenheit gehandelt hat. Wenn Behörden außerhalb des Amtes Amtshandlungen vornehmen, können dafür Kommissionsgebühren eingehoben werden. Diese Kommissionsgebühren sind von der Behörde einzuheben, die die Amtshandlung vorgenommen hat und kommen der Gebietskörperschaft zu, die den Aufwand dieser Behörde zu tragen hat.